अवयव | 99.9999% | इकाई |
ऑक्सीजन (Ar) | ≤0.1 | पीपीएमवी |
नाइट्रोजन | ≤0.1 | पीपीएमवी |
हाइड्रोजन | ≤20 | पीपीएमवी |
हीलियम | ≤10 | पीपीएमवी |
सीओ+सीओ2 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
टीएचसी | ≤0.1 | पीपीएमवी |
क्लोरोसिलेन्स | ≤0.1 | पीपीएमवी |
डिसिलोक्सेन | ≤0.1 | पीपीएमवी |
डिसिलेन | ≤0.1 | पीपीएमवी |
नमी (H2O) | ≤0.1 | पीपीएमवी |
सिलेन, सिलिकॉन और हाइड्रोजन का एक यौगिक है। यह यौगिकों की एक श्रृंखला के लिए एक सामान्य शब्द है, जिसमें मोनोसिलेन (SiH4), डिसिलेन (Si2H6) और कुछ उच्च-स्तरीय सिलिकॉन-हाइड्रोजन यौगिक शामिल हैं। इनमें, मोनोसिलेन सबसे आम है, जिसे कभी-कभी संक्षेप में सिलेन भी कहा जाता है। सिलेन एक रंगहीन गैस है जिसमें लहसुन की तीखी गंध होती है। यह जल में घुलनशील है, और इथेनॉल, ईथर, बेंजीन, क्लोरोफॉर्म, सिलिकॉन क्लोरोफॉर्म और सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड में लगभग अघुलनशील है। सिलेन के रासायनिक गुण एल्केन्स की तुलना में बहुत अधिक सक्रिय होते हैं और आसानी से ऑक्सीकृत हो जाते हैं। हवा के संपर्क में आने पर स्वतःस्फूर्त दहन हो सकता है। यह 25°C से नीचे नाइट्रोजन के साथ और कमरे के तापमान पर हाइड्रोकार्बन यौगिकों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है। सिलेन में आग लगना और विस्फोट ऑक्सीजन के साथ प्रतिक्रिया का परिणाम है। सिलेन ऑक्सीजन और हवा के प्रति अत्यंत संवेदनशील है। एक निश्चित सांद्रता वाला सिलेन -180°C के तापमान पर भी ऑक्सीजन के साथ विस्फोटक रूप से प्रतिक्रिया करेगा। सिलेन अर्धचालक माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रियाओं में प्रयुक्त सबसे महत्वपूर्ण विशेष गैस बन गई है और इसका उपयोग विभिन्न माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक फिल्मों के निर्माण में किया जाता है, जिनमें एकल क्रिस्टल फिल्में, माइक्रोक्रिस्टलाइन, पॉलीक्रिस्टलाइन, सिलिकॉन ऑक्साइड, सिलिकॉन नाइट्राइड और धातु सिलिकाइड शामिल हैं। सिलेन के माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोग अभी भी गहराई से विकसित हो रहे हैं: निम्न-तापमान एपिटेक्सी, चयनात्मक एपिटेक्सी और हेटेरोएपिटैक्सियल एपिटेक्सी। न केवल सिलिकॉन उपकरणों और सिलिकॉन एकीकृत परिपथों के लिए, बल्कि यौगिक अर्धचालक उपकरणों (गैलियम आर्सेनाइड, सिलिकॉन कार्बाइड, आदि) के लिए भी। सुपरलैटिस क्वांटम वेल सामग्रियों के निर्माण में भी इसके अनुप्रयोग हैं। यह कहा जा सकता है कि आधुनिक समय में लगभग सभी उन्नत एकीकृत परिपथ उत्पादन लाइनों में सिलेन का उपयोग किया जाता है। सिलिकॉन युक्त फिल्म और कोटिंग के रूप में सिलेन का अनुप्रयोग पारंपरिक माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग से स्टील, मशीनरी, रसायन और प्रकाशिकी जैसे विभिन्न क्षेत्रों में फैल गया है। सिलेन का एक अन्य संभावित अनुप्रयोग उच्च प्रदर्शन वाले सिरेमिक इंजन भागों का निर्माण है, विशेष रूप से सिलिसाइड (Si3N4, SiC, आदि) माइक्रोपाउडर प्रौद्योगिकी के निर्माण के लिए सिलेन के उपयोग ने अधिक से अधिक ध्यान आकर्षित किया है।
①इलेक्ट्रॉनिक:
अर्धचालक और सीलेंट के निर्माण के समय सिलेन को सिलिकॉन वेफर्स पर पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन परतों पर लगाया जाता है।
2सौर:
सिलेन का उपयोग सौर फोटोवोल्टिक मॉड्यूल निर्माण में किया जाता है।
③औद्योगिक:
इसका उपयोग ऊर्जा-बचत वाले ग्रीन ग्लास में किया जाता है और वाष्प जमाव पतली फिल्म प्रक्रिया में लागू किया जाता है।
उत्पाद | सिलेन SiH4 द्रव | |
पैकेज का आकार | 47 लीटर सिलेंडर | वाई-440एल |
भरने का शुद्ध वजन/सिलेंडर | 10 किलोग्राम | 125 किलोग्राम |
मात्रा 20' कंटेनर में भरी हुई | 250 सिलेंडर | 8सिलेंडर |
कुल वजन | 2.5 टन | 1 टन |
सिलेंडर का टेयर वजन | 52 किलोग्राम | 680 किलोग्राम |
वाल्व | सीजीए632/डीआईएसएस632 |
①बाजार पर दस साल से अधिक;
②आईएसओ प्रमाण पत्र निर्माता;
③तेजी से वितरण;
④स्थिर कच्चे माल का स्रोत;
⑤प्रत्येक चरण में गुणवत्ता नियंत्रण के लिए ऑन-लाइन विश्लेषण प्रणाली;
⑥ भरने से पहले सिलेंडर को संभालने के लिए उच्च आवश्यकता और सावधानीपूर्वक प्रक्रिया;
⑦शुद्धता: उच्च शुद्धता इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड;
⑧उपयोग: सौर सेल सामग्री; उच्च शुद्धता पॉलीसिलिकॉन, सिलिकॉन ऑक्साइड और ऑप्टिकल फाइबर बनाना; रंगीन ग्लास विनिर्माण।