सूखी नक़्क़ाशी में आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली नक़्क़ाशी गैसें क्या हैं?

सूखी नक़्क़ाशी तकनीक प्रमुख प्रक्रियाओं में से एक है। सूखी नक़्क़ाशी गैस अर्धचालक विनिर्माण में एक महत्वपूर्ण सामग्री है और प्लाज्मा नक़्क़ाशी के लिए एक महत्वपूर्ण गैस स्रोत है। इसका प्रदर्शन सीधे अंतिम उत्पाद की गुणवत्ता और प्रदर्शन को प्रभावित करता है। यह लेख मुख्य रूप से साझा करता है कि सूखी नक़्क़ाशी प्रक्रिया में आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली नक़्क़ाशी गैसें क्या हैं।

फ्लोरीन-आधारित गैसें: जैसेकार्बन टेट्राफ्लोराइड, हेक्सफ्लुओरोएथेन (C2F6), ट्राइफ्लोरोरोमेथेन (CHF3) और परफ्लुओरोप्रोपेन (C3F8)। ये गैसें सिलिकॉन और सिलिकॉन यौगिकों को खोदते समय वाष्पशील फ्लोराइड्स को प्रभावी ढंग से उत्पन्न कर सकती हैं, जिससे सामग्री हटाने से प्राप्त होता है।

क्लोरीन-आधारित गैसें: जैसे कि क्लोरीन (CL2),बोरान ट्राइक्लोराइड (BCL3)और सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड (SICL4)। क्लोरीन-आधारित गैसें नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान क्लोराइड आयन प्रदान कर सकती हैं, जो नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता को बेहतर बनाने में मदद करती है।

ब्रोमीन-आधारित गैसें: जैसे कि ब्रोमीन (BR2) और ब्रोमिन आयोडाइड (IBR)। ब्रोमीन-आधारित गैसें कुछ नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में बेहतर नक़्क़ाशी प्रदर्शन प्रदान कर सकती हैं, खासकर जब सिलिकॉन कार्बाइड जैसे कठोर सामग्री को नक़्क़ाइयों।

नाइट्रोजन-आधारित और ऑक्सीजन-आधारित गैसें: जैसे कि नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) और ऑक्सीजन (O2)। इन गैसों का उपयोग आमतौर पर नक़्क़ाशी की प्रक्रिया में प्रतिक्रिया की स्थिति को समायोजित करने के लिए किया जाता है ताकि नक़्क़ाशी की चयनात्मकता और दिशात्मकता में सुधार हो सके।

ये गैसें प्लाज्मा नक़्क़ाशी के दौरान भौतिक स्पटरिंग और रासायनिक प्रतिक्रियाओं के संयोजन के माध्यम से सामग्री की सतह के सटीक नक़्क़ाशी को प्राप्त करती हैं। नक़्क़ाशी गैस का विकल्प सामग्री के प्रकार पर निर्भर करता है, जो कि नक़्क़ाशी की चयनात्मकता आवश्यकताओं, और वांछित नक़्क़ाशी दर है।