इलेक्ट्रॉनिकविशेष गैसेंविशेष गैसों की एक महत्वपूर्ण शाखा हैं। वे अर्धचालक उत्पादन के लगभग हर लिंक में प्रवेश करते हैं और इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के उत्पादन के लिए अपरिहार्य कच्चे माल हैं जैसे कि अल्ट्रा-लार्ज-स्केल एकीकृत सर्किट, फ्लैट पैनल डिस्प्ले डिवाइस और सौर कोशिकाओं।

अर्धचालक प्रौद्योगिकी में, फ्लोरीन युक्त गैसों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। वर्तमान में, वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक गैस बाजार में, फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों का कुल 30% है। फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसें इलेक्ट्रॉनिक सूचना सामग्री के क्षेत्र में विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों का एक महत्वपूर्ण घटक हैं। वे मुख्य रूप से सफाई एजेंटों और नक़्क़ाशी एजेंटों के रूप में उपयोग किए जाते हैं, और इसका उपयोग डोपेंट, फिल्म बनाने वाली सामग्री आदि के रूप में भी किया जा सकता है। इस लेख में, लेखक आपको सामान्य फ्लोरीन युक्त गैसों को समझने के लिए ले जाएगा।

निम्नलिखित आमतौर पर फ्लोरीन युक्त गैसों का उपयोग किया जाता है

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (एनएफ 3): एक गैस का उपयोग सफाई और जमा को हटाने के लिए किया जाता है, आमतौर पर प्रतिक्रिया कक्षों और उपकरण सतहों की सफाई के लिए उपयोग किया जाता है।

सल्फर हेक्सफ्लोराइड (एसएफ 6): ऑक्साइड बयान प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक फ्लोरिनेटिंग एजेंट और इंसुलेटिंग मीडिया को भरने के लिए एक इन्सुलेट गैस के रूप में।

हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ): सिलिकॉन की सतह से ऑक्साइड को हटाने के लिए और सिलिकॉन और अन्य सामग्रियों के लिए एक नक़्क़ाशी के रूप में उपयोग किया जाता है।

नाइट्रोजन फ्लोराइड (एनएफ): सिलिकॉन नाइट्राइड (एसआईएन) और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (एएलएन) जैसी ईच सामग्री के लिए उपयोग किया जाता है।

Trifluoromethane (CHF3) औरटेट्राफ्लुओरोमेथेन (सीएफ 4): सिलिकॉन फ्लोराइड और एल्यूमीनियम फ्लोराइड जैसे फ्लोराइड सामग्री को खोदने के लिए उपयोग किया जाता है।

हालांकि, फ्लोरीन युक्त गैसों में कुछ खतरे होते हैं, जिनमें विषाक्तता, संक्षारण और ज्वलनशीलता शामिल है।

विषाक्तता

कुछ फ्लोरीन युक्त गैसें विषाक्त होती हैं, जैसे कि हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ), जिसका वाष्प त्वचा और श्वसन पथ के लिए अत्यधिक परेशान है और मानव स्वास्थ्य के लिए हानिकारक है।

क्षयकारिता

हाइड्रोजन फ्लोराइड और कुछ फ्लोराइड अत्यधिक संक्षारक होते हैं और त्वचा, आंखों और श्वसन पथ को गंभीर नुकसान पहुंचा सकते हैं।

ज्वलनशीलता

कुछ फ्लोराइड ज्वलनशील होते हैं और तीव्र गर्मी और विषाक्त गैसों को छोड़ने के लिए हवा में ऑक्सीजन या पानी के साथ प्रतिक्रिया करते हैं, जिससे आग या विस्फोट हो सकता है।

उच्च दबाव का खतरा

कुछ फ्लोरोनेटेड गैसें उच्च दबाव में विस्फोटक होती हैं और उपयोग और संग्रहीत होने पर विशेष देखभाल की आवश्यकता होती है।

पर्यावरण पर प्रभाव

फ्लोरीन युक्त गैसों में उच्च वायुमंडलीय जीवनकाल और GWP मान होते हैं, जो वायुमंडलीय ओजोन परत पर विनाशकारी प्रभाव डालते हैं और ग्लोबल वार्मिंग और पर्यावरण प्रदूषण का कारण बन सकते हैं।

उभरते क्षेत्रों में गैसों का अनुप्रयोग जैसे इलेक्ट्रॉनिक्स गहराई से जारी है, जिससे औद्योगिक गैसों के लिए बड़ी मात्रा में नई मांग होती है। अगले कुछ वर्षों में मुख्य भूमि चीन में अर्धचालक और प्रदर्शन पैनल जैसे प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकों की नई उत्पादन क्षमता के आधार पर, साथ ही इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्री के आयात प्रतिस्थापन की मजबूत मांग के आधार पर, घरेलू इलेक्ट्रॉनिक गैस उद्योग एक उच्च विकास दर में प्रवेश करेगा।