इलेक्ट्रॉनिकविशेष गैसेंगैसें विशेष गैसों की एक महत्वपूर्ण शाखा हैं। ये अर्धचालक उत्पादन के लगभग हर चरण में शामिल होती हैं और अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इंटीग्रेटेड सर्किट, फ्लैट पैनल डिस्प्ले डिवाइस और सौर सेल जैसे इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के उत्पादन के लिए अपरिहार्य कच्चा माल हैं।

सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी में, फ्लोरीन युक्त गैसों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। वर्तमान में, वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक गैस बाजार में, फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों का हिस्सा कुल का लगभग 30% है। इलेक्ट्रॉनिक सूचना सामग्री के क्षेत्र में, फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसें विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों का एक महत्वपूर्ण घटक हैं। इनका मुख्य रूप से सफाई एजेंट और एचिंग एजेंट के रूप में उपयोग किया जाता है, और इन्हें डोपेंट, फिल्म बनाने वाली सामग्री आदि के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है। इस लेख में, लेखक आपको सामान्य फ्लोरीन युक्त गैसों के बारे में जानकारी देगा।

निम्नलिखित फ्लोरीन युक्त गैसें आमतौर पर उपयोग की जाती हैं।

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3): सफाई और जमाव को हटाने के लिए इस्तेमाल की जाने वाली एक गैस, जिसका उपयोग आमतौर पर प्रतिक्रिया कक्षों और उपकरण की सतहों की सफाई के लिए किया जाता है।

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6): ऑक्साइड निक्षेपण प्रक्रियाओं में प्रयुक्त एक फ्लोरीनेटिंग एजेंट और इन्सुलेटिंग मीडिया को भरने के लिए एक इन्सुलेटिंग गैस के रूप में।

हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ): इसका उपयोग सिलिकॉन की सतह से ऑक्साइड को हटाने और सिलिकॉन और अन्य सामग्रियों की नक्काशी के लिए एक नक़्क़ाशी पदार्थ के रूप में किया जाता है।

नाइट्रोजन फ्लोराइड (एनएफ): सिलिकॉन नाइट्राइड (एसआईएन) और एल्युमीनियम नाइट्राइड (एलएन) जैसी सामग्रियों को एच करने के लिए उपयोग किया जाता है।

ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3) औरटेट्राफ्लोरोमेथेन (CF4)इसका उपयोग सिलिकॉन फ्लोराइड और एल्युमीनियम फ्लोराइड जैसे फ्लोराइड पदार्थों को उत्कीर्ण करने के लिए किया जाता है।

हालांकि, फ्लोरीन युक्त गैसों में कुछ खतरे होते हैं, जिनमें विषाक्तता, संक्षारकता और ज्वलनशीलता शामिल हैं।

विषाक्तता

कुछ फ्लोरीन युक्त गैसें जहरीली होती हैं, जैसे हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ), जिसकी वाष्प त्वचा और श्वसन तंत्र के लिए अत्यधिक जलन पैदा करने वाली और मानव स्वास्थ्य के लिए हानिकारक होती है।

क्षयकारिता

हाइड्रोजन फ्लोराइड और कुछ फ्लोराइड अत्यधिक संक्षारक होते हैं और त्वचा, आंखों और श्वसन तंत्र को गंभीर नुकसान पहुंचा सकते हैं।

ज्वलनशीलता

कुछ फ्लोराइड ज्वलनशील होते हैं और हवा में मौजूद ऑक्सीजन या पानी के साथ प्रतिक्रिया करके तीव्र गर्मी और जहरीली गैसें छोड़ते हैं, जिससे आग या विस्फोट हो सकता है।

उच्च दबाव का खतरा

कुछ फ्लोरीनयुक्त गैसें उच्च दबाव में विस्फोटक होती हैं और इनके उपयोग और भंडारण के दौरान विशेष सावधानी बरतने की आवश्यकता होती है।

पर्यावरण पर प्रभाव

फ्लोरीन युक्त गैसों का वायुमंडलीय जीवनकाल और जीडब्ल्यूपी मान अधिक होता है, जिसका वायुमंडलीय ओजोन परत पर विनाशकारी प्रभाव पड़ता है और यह वैश्विक तापमान वृद्धि और पर्यावरण प्रदूषण का कारण बन सकता है।

इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे उभरते क्षेत्रों में गैसों का उपयोग लगातार बढ़ रहा है, जिससे औद्योगिक गैसों की नई मांग में भारी वृद्धि हो रही है। चीन में आने वाले कुछ वर्षों में सेमीकंडक्टर और डिस्प्ले पैनल जैसे प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकों की उत्पादन क्षमता में भारी वृद्धि और इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रियों के आयात प्रतिस्थापन की प्रबल मांग के कारण, घरेलू इलेक्ट्रॉनिक गैस उद्योग में उच्च विकास दर देखने को मिलेगी।