इलेक्ट्रॉनिकविशेष गैसेंविशेष गैसों की एक महत्वपूर्ण शाखा हैं। ये अर्धचालक उत्पादन के लगभग हर चरण में प्रवेश करती हैं और अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इंटीग्रेटेड सर्किट, फ्लैट पैनल डिस्प्ले डिवाइस और सौर सेल जैसे इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के उत्पादन के लिए अपरिहार्य कच्चे माल हैं।

अर्धचालक प्रौद्योगिकी में, फ्लोरीन युक्त गैसों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। वर्तमान में, वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक गैस बाजार में, फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की हिस्सेदारी कुल मात्रा का लगभग 30% है। फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसें इलेक्ट्रॉनिक सूचना सामग्री के क्षेत्र में विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों का एक महत्वपूर्ण घटक हैं। इनका उपयोग मुख्य रूप से सफाई एजेंट और नक़्क़ाशी एजेंट के रूप में किया जाता है, और इन्हें डोपेंट, फिल्म बनाने वाली सामग्री आदि के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है। इस लेख में, लेखक आपको सामान्य फ्लोरीन युक्त गैसों के बारे में जानकारी देंगे।

निम्नलिखित सामान्यतः प्रयुक्त फ्लोरीन युक्त गैसें हैं

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3): यह गैस जमाव को साफ करने और हटाने के लिए उपयोग की जाती है, आमतौर पर प्रतिक्रिया कक्षों और उपकरण सतहों की सफाई के लिए उपयोग की जाती है।

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6): एक फ्लोरिनेटिंग एजेंट जो ऑक्साइड जमाव प्रक्रियाओं में और इन्सुलेटिंग मीडिया को भरने के लिए एक इन्सुलेटिंग गैस के रूप में उपयोग किया जाता है।

हाइड्रोजन फ्लोराइड (HF): सिलिकॉन सतह से ऑक्साइड हटाने के लिए तथा सिलिकॉन और अन्य सामग्रियों को नक़्क़ाशी करने के लिए एक नक़्क़ाशी के रूप में उपयोग किया जाता है।

नाइट्रोजन फ्लोराइड (NF): सिलिकॉन नाइट्राइड (SiN) और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN) जैसी सामग्रियों को खोदने के लिए उपयोग किया जाता है।

ट्राइफ्लोरोमीथेन (CHF3) औरटेट्राफ्लोरोमीथेन (CF4): सिलिकॉन फ्लोराइड और एल्यूमीनियम फ्लोराइड जैसे फ्लोराइड पदार्थों को खोदने के लिए उपयोग किया जाता है।

हालाँकि, फ्लोरीन युक्त गैसों में कुछ खतरे भी हैं, जिनमें विषाक्तता, संक्षारकता और ज्वलनशीलता शामिल हैं।

विषाक्तता

कुछ फ्लोरीन युक्त गैसें जहरीली होती हैं, जैसे हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ), जिसका वाष्प त्वचा और श्वसन तंत्र के लिए अत्यधिक परेशान करने वाला और मानव स्वास्थ्य के लिए हानिकारक होता है।

क्षयकारिता

हाइड्रोजन फ्लोराइड और कुछ फ्लोराइड अत्यधिक संक्षारक होते हैं और त्वचा, आंखों और श्वसन तंत्र को गंभीर नुकसान पहुंचा सकते हैं।

ज्वलनशीलता

कुछ फ्लोराइड ज्वलनशील होते हैं और हवा में मौजूद ऑक्सीजन या पानी के साथ प्रतिक्रिया करके तीव्र गर्मी और जहरीली गैसें छोड़ते हैं, जिससे आग या विस्फोट हो सकता है।

उच्च दबाव का खतरा

कुछ फ्लोरीनेटेड गैसें उच्च दबाव में विस्फोटक हो जाती हैं और इनके उपयोग और भंडारण के समय विशेष सावधानी की आवश्यकता होती है।

पर्यावरण पर प्रभाव

फ्लोरीन युक्त गैसों का वायुमंडलीय जीवनकाल और GWP मान उच्च होता है, जिसका वायुमंडलीय ओजोन परत पर विनाशकारी प्रभाव पड़ता है तथा इससे ग्लोबल वार्मिंग और पर्यावरण प्रदूषण हो सकता है।

इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे उभरते क्षेत्रों में गैसों का अनुप्रयोग निरंतर गहराता जा रहा है, जिससे औद्योगिक गैसों की नई मांग में भारी वृद्धि हो रही है। अगले कुछ वर्षों में मुख्यभूमि चीन में सेमीकंडक्टर और डिस्प्ले पैनल जैसे प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकों की नई उत्पादन क्षमता में भारी वृद्धि और इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रियों के आयात प्रतिस्थापन की मजबूत मांग के आधार पर, घरेलू इलेक्ट्रॉनिक गैस उद्योग उच्च विकास दर की ओर अग्रसर होगा।