इलेक्ट्रॉनिकविशेष गैसेंविशेष गैसों की एक महत्वपूर्ण शाखा हैं। वे सेमीकंडक्टर उत्पादन के लगभग हर लिंक में प्रवेश करते हैं और अल्ट्रा-बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट, फ्लैट पैनल डिस्प्ले डिवाइस और सौर सेल जैसे इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के उत्पादन के लिए अपरिहार्य कच्चे माल हैं।

अर्धचालक प्रौद्योगिकी में, फ्लोरीन युक्त गैसों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। वर्तमान में, वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक गैस बाजार में, फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसें कुल का लगभग 30% हैं। फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसें इलेक्ट्रॉनिक सूचना सामग्री के क्षेत्र में विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों का एक महत्वपूर्ण घटक हैं। इनका उपयोग मुख्य रूप से सफाई एजेंटों और नक़्क़ाशी एजेंटों के रूप में किया जाता है, और इन्हें डोपेंट, फिल्म बनाने वाली सामग्री आदि के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है। इस लेख में, लेखक आपको सामान्य फ्लोरीन युक्त गैसों को समझने के लिए ले जाएगा।

निम्नलिखित आमतौर पर फ्लोरीन युक्त गैसों का उपयोग किया जाता है

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3): सफाई और जमा हटाने के लिए उपयोग की जाने वाली गैस, आमतौर पर प्रतिक्रिया कक्षों और उपकरण सतहों की सफाई के लिए उपयोग की जाती है।

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6): एक फ्लोरिनेटिंग एजेंट जिसका उपयोग ऑक्साइड जमाव प्रक्रियाओं में और इन्सुलेट मीडिया को भरने के लिए एक इन्सुलेट गैस के रूप में किया जाता है।

हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ): सिलिकॉन की सतह से ऑक्साइड को हटाने और सिलिकॉन और अन्य सामग्रियों को खोदने के लिए एक नक़्क़ाशी के रूप में उपयोग किया जाता है।

नाइट्रोजन फ्लोराइड (NF): सिलिकॉन नाइट्राइड (SiN) और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN) जैसी सामग्रियों को खोदने के लिए उपयोग किया जाता है।

ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3) औरटेट्राफ्लोरोमेथेन (CF4): सिलिकॉन फ्लोराइड और एल्यूमीनियम फ्लोराइड जैसी फ्लोराइड सामग्री को खोदने के लिए उपयोग किया जाता है।

हालाँकि, फ्लोरीन युक्त गैसों में विषाक्तता, संक्षारकता और ज्वलनशीलता सहित कुछ खतरे होते हैं।

विषाक्तता

कुछ फ्लोरीन युक्त गैसें जहरीली होती हैं, जैसे हाइड्रोजन फ्लोराइड (एचएफ), जिसका वाष्प त्वचा और श्वसन पथ के लिए अत्यधिक परेशान करने वाला और मानव स्वास्थ्य के लिए हानिकारक होता है।

क्षयकारिता

हाइड्रोजन फ्लोराइड और कुछ फ्लोराइड अत्यधिक संक्षारक होते हैं और त्वचा, आंखों और श्वसन पथ को गंभीर नुकसान पहुंचा सकते हैं।

ज्वलनशीलता

कुछ फ्लोराइड ज्वलनशील होते हैं और हवा में ऑक्सीजन या पानी के साथ प्रतिक्रिया करके तीव्र गर्मी और जहरीली गैसें छोड़ते हैं, जिससे आग या विस्फोट हो सकता है।

उच्च दबाव का खतरा

कुछ फ़्लोरिनेटेड गैसें उच्च दबाव में विस्फोटक होती हैं और उपयोग और भंडारण के दौरान विशेष देखभाल की आवश्यकता होती है।

पर्यावरण पर प्रभाव

फ्लोरीन युक्त गैसों का वायुमंडलीय जीवनकाल और GWP मान उच्च होता है, जो वायुमंडलीय ओजोन परत पर विनाशकारी प्रभाव डालता है और ग्लोबल वार्मिंग और पर्यावरण प्रदूषण का कारण बन सकता है।

इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे उभरते क्षेत्रों में गैसों का अनुप्रयोग गहराता जा रहा है, जिससे औद्योगिक गैसों की बड़ी मात्रा में नई मांग आ रही है। अगले कुछ वर्षों में मुख्य भूमि चीन में अर्धचालक और डिस्प्ले पैनल जैसे प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकों की बड़ी मात्रा में नई उत्पादन क्षमता के साथ-साथ इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रियों के आयात प्रतिस्थापन की मजबूत मांग के आधार पर, घरेलू इलेक्ट्रॉनिक गैस उद्योग की शुरुआत होगी। एक उच्च विकास दर.