सामान्य फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों में शामिल हैं:सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4)ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोएथेन (C2F6) और ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)।
नैनो तकनीक के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के व्यापक विस्तार के साथ, इसकी मांग दिन-प्रतिदिन बढ़ती जाएगी। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, पैनलों और अर्धचालकों के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे अधिक उपयोग की जाने वाली विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में, व्यापक बाजार संभावनाएं रखती है।
फ्लोरीन युक्त एक विशेष प्रकार की गैस के रूप में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (एनएफ3)नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड इलेक्ट्रॉनिक गैसों में सबसे अधिक बाजार क्षमता वाला उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय होता है, उच्च तापमान पर ऑक्सीजन से अधिक सक्रिय, फ्लोरीन से अधिक स्थिर और उपयोग में आसान होता है। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का मुख्य रूप से प्लाज्मा एचिंग गैस और रिएक्शन चैंबर क्लीनिंग एजेंट के रूप में उपयोग किया जाता है, और यह सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टिक सेल आदि के निर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की तुलना में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडइसमें तीव्र प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के गुण हैं। विशेष रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जैसे सिलिकॉन युक्त पदार्थों की नक्काशी में, इसकी नक्काशी दर और चयनात्मकता बहुत अधिक होती है, जिससे नक्काशी की गई वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं बचता। यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है और सतह को प्रदूषित नहीं करता, जिससे प्रसंस्करण प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा किया जा सकता है।
पोस्ट करने का समय: 14 सितंबर 2024
