सामान्य फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों में शामिल हैंसल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्राइफ्लोरोमीथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोइथेन (C2F6) और ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)।
नैनो तकनीक के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के बड़े पैमाने पर विकास के साथ, इसकी मांग दिन-प्रतिदिन बढ़ती जाएगी। पैनल और अर्धचालकों के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे अधिक इस्तेमाल की जाने वाली विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का एक व्यापक बाजार स्थान है।
एक प्रकार की फ्लोरीन युक्त विशेष गैस के रूप में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3)यह सबसे बड़ी बाजार क्षमता वाला इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय, उच्च तापमान पर ऑक्सीजन से अधिक सक्रिय, फ्लोरीन से अधिक स्थिर और उपयोग में आसान होता है। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से प्लाज्मा एचिंग गैस और प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेंट के रूप में किया जाता है, और यह सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टिक सेल आदि के निर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की तुलना में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडइसमें तेज़ प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के लाभ हैं। विशेष रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जैसी सिलिकॉन युक्त सामग्रियों की नक़्क़ाशी में, इसकी नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता उच्च होती है, जिससे नक़्क़ाशी की गई वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं बचता। यह एक बहुत अच्छा सफ़ाई एजेंट भी है और सतह पर कोई प्रदूषण नहीं करता, जो प्रसंस्करण प्रक्रिया की ज़रूरतों को पूरा कर सकता है।
पोस्ट करने का समय: 14-सितंबर-2024
