आम फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों में शामिल हैंसल्फर हेक्सफ्लोराइड (एसएफ 6), टंगस्टन हेक्सफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड।
नैनो टेक्नोलॉजी के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के बड़े पैमाने पर विकास के साथ, इसकी मांग दिन-प्रतिदिन बढ़ जाएगी। पैनलों और अर्धचालक के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे बड़े उपयोग किए जाने वाले विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, एक व्यापक बाजार स्थान है।
एक प्रकार के फ्लोरीन युक्त विशेष गैस के रूप में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (एनएफ 3)सबसे बड़ी बाजार क्षमता के साथ इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, उच्च तापमान पर ऑक्सीजन की तुलना में अधिक सक्रिय है, फ्लोरीन की तुलना में अधिक स्थिर है, और संभालने में आसान है। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से एक प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस और एक प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेंट के रूप में किया जाता है, और अर्धचालक चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टिक कोशिकाओं के निर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों के साथ तुलना में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लुओराइडतेजी से प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के फायदे हैं। विशेष रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जैसे सिलिकॉन युक्त सामग्री की नक़्क़ाशी में, इसमें एक उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता है, जो etched ऑब्जेक्ट की सतह पर कोई अवशेष नहीं छोड़ता है। यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है और इसमें सतह पर कोई प्रदूषण नहीं है, जो प्रसंस्करण प्रक्रिया की जरूरतों को पूरा कर सकता है।
पोस्ट टाइम: सितंबर -14-2024
