सामान्य फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसें शामिल हैंसल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोइथेन (C2F6) और ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)।
नैनोटेक्नोलॉजी के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के बड़े पैमाने पर विकास के साथ, इसकी मांग दिन-ब-दिन बढ़ती जाएगी। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, पैनलों और अर्धचालकों के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे अधिक उपयोग की जाने वाली विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में, एक व्यापक बाजार स्थान है।
एक प्रकार की फ्लोरीन युक्त विशेष गैस के रूप में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3)सबसे बड़ी बाजार क्षमता वाला इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, उच्च तापमान पर ऑक्सीजन की तुलना में अधिक सक्रिय है, फ्लोरीन की तुलना में अधिक स्थिर है और संभालने में आसान है। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस और प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेंट के रूप में किया जाता है, और यह अर्धचालक चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टिक कोशिकाओं आदि के विनिर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की तुलना में,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडइसमें तेज प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के फायदे हैं। विशेष रूप से सिलिकॉन युक्त सामग्री जैसे सिलिकॉन नाइट्राइड की नक़्क़ाशी में, इसमें उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता होती है, जिससे नक़्क़ाशीदार वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं बचता है। यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है और इसकी सतह पर कोई प्रदूषण नहीं होता है, जो प्रसंस्करण प्रक्रिया की जरूरतों को पूरा कर सकता है।
पोस्ट करने का समय: सितम्बर-14-2024
