हमारे देश के अर्धचालक उद्योग और पैनल उद्योग उच्च स्तर की समृद्धि बनाए रखते हैं। पैनलों और अर्धचालक के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे बड़ी-मात्रा वाले विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, एक व्यापक बाजार स्थान है।
आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों में शामिल हैंसल्फर हेक्सफ्लोराइड (एसएफ 6), टंगस्टन हेक्सफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (एनएफ 3) मुख्य रूप से हाइड्रोजन फ्लोराइड-फ्लोराइड गैस उच्च-ऊर्जा रासायनिक लेजर के लिए एक फ्लोरीन स्रोत के रूप में उपयोग किया जाता है। H2-O2 और F2 के बीच प्रतिक्रिया ऊर्जा का प्रभावी हिस्सा (लगभग 25%) लेजर विकिरण द्वारा जारी किया जा सकता है, इसलिए HF-of लेज़र्स रासायनिक लेज़रों के बीच सबसे आशाजनक लेजर हैं।
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग में एक उत्कृष्ट प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस है। सिलिकॉन और सिलिकॉन नाइट्राइड को नक़्क़ाशी करने के लिए, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में कार्बन टेट्राफ्लोराइड और कार्बन टेट्राफ्लोराइड और ऑक्सीजन के मिश्रण की तुलना में एक उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता होती है, और सतह पर कोई प्रदूषण नहीं है। विशेष रूप से 1.5um से कम की मोटाई के साथ एकीकृत सर्किट सामग्री की नक़्क़ाशी में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में एक बहुत ही उत्कृष्ट नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता होती है, जो etched ऑब्जेक्ट की सतह पर कोई अवशेष नहीं छोड़ती है, और यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है। नैनो टेक्नोलॉजी के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के बड़े पैमाने पर विकास के साथ, इसकी मांग दिन-प्रतिदिन बढ़ जाएगी।
एक प्रकार के फ्लोरीन युक्त विशेष गैस के रूप में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) बाजार में सबसे बड़ा इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, ऑक्सीजन की तुलना में अधिक सक्रिय है, फ्लोरीन की तुलना में अधिक स्थिर है, और उच्च तापमान पर संभालने के लिए आसान है।
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस और प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेंट के रूप में किया जाता है, जो सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टिक कोशिकाओं, आदि जैसे विनिर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की तुलना में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में तेजी से प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के फायदे हैं, विशेष रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जैसे सिलिकॉन युक्त सामग्रियों की नक़्क़ाशी में, यह एक उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता है, यह एक बहुत ही अच्छी तरह से तैयार करने वाली है, और यह एक बहुत ही अच्छा है, और यह एक बहुत ही अच्छा है।
पोस्ट टाइम: दिसंबर -26-2024
