हमारे देश का सेमीकंडक्टर उद्योग और पैनल उद्योग उच्च स्तर की समृद्धि बनाए हुए है। पैनल और सेमीकंडक्टर के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे बड़ी मात्रा में प्रयुक्त होने वाली विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का बाज़ार में व्यापक स्थान है।
आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों में शामिल हैंसल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्राइफ्लोरोमीथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोएथेन (C2F6) और ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) का उपयोग मुख्य रूप से हाइड्रोजन फ्लोराइड-फ्लोराइड गैस उच्च-ऊर्जा रासायनिक लेज़रों के लिए फ्लोरीन स्रोत के रूप में किया जाता है। H2-O2 और F2 के बीच अभिक्रिया ऊर्जा का प्रभावी भाग (लगभग 25%) लेज़र विकिरण द्वारा मुक्त किया जा सकता है, इसलिए HF-OF लेज़र रासायनिक लेज़रों में सबसे आशाजनक लेज़र हैं।
माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड एक उत्कृष्ट प्लाज्मा एचिंग गैस है। सिलिकॉन और सिलिकॉन नाइट्राइड की एचिंग के लिए, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड की एचिंग दर और चयनात्मकता कार्बन टेट्राफ्लोराइड और कार्बन टेट्राफ्लोराइड व ऑक्सीजन के मिश्रण से भी अधिक होती है, और यह सतह को प्रदूषित नहीं करता। विशेष रूप से 1.5 माइक्रोन से कम मोटाई वाली एकीकृत परिपथ सामग्रियों की एचिंग में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड की एचिंग दर और चयनात्मकता बहुत अच्छी होती है, जिससे एचिंग की गई वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं बचता, और यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है। नैनो तकनीक के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के बड़े पैमाने पर विकास के साथ, इसकी मांग दिन-प्रतिदिन बढ़ती जाएगी।
फ्लोरीन युक्त विशेष गैस के एक प्रकार के रूप में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) बाज़ार में सबसे बड़ा इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय, ऑक्सीजन से अधिक सक्रिय, फ्लोरीन से अधिक स्थिर और उच्च तापमान पर उपयोग में आसान होता है।
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से प्लाज्मा एचिंग गैस और प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेंट के रूप में किया जाता है, जो अर्धचालक चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टिक सेल आदि जैसे विनिर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की तुलना में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में तेज प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के फायदे हैं, विशेष रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जैसे सिलिकॉन युक्त सामग्रियों की नक़्क़ाशी में, इसकी उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता है, जो नक़्क़ाशीदार वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं छोड़ती है, और यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है, और यह सतह के लिए गैर-प्रदूषणकारी है और प्रसंस्करण प्रक्रिया की जरूरतों को पूरा कर सकता है।
पोस्ट करने का समय: 26-दिसंबर-2024
