हमारे देश का सेमीकंडक्टर उद्योग और पैनल उद्योग उच्च स्तर की समृद्धि बनाए हुए है। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, पैनलों और सेमीकंडक्टरों के उत्पादन और प्रसंस्करण में एक अपरिहार्य और सबसे अधिक मात्रा में उपयोग होने वाली विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैस के रूप में, व्यापक बाजार संभावनाएं रखती है।
आमतौर पर इस्तेमाल होने वाली फ्लोरीन युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक गैसों में शामिल हैं:सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4)ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोएथेन (C2F6) और ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) का उपयोग मुख्य रूप से हाइड्रोजन फ्लोराइड-फ्लोराइड गैस उच्च-ऊर्जा रासायनिक लेजरों के लिए फ्लोरीन स्रोत के रूप में किया जाता है। H2-O2 और F2 के बीच अभिक्रिया ऊर्जा का प्रभावी भाग (लगभग 25%) लेजर विकिरण द्वारा मुक्त किया जा सकता है, इसलिए HF-OF लेजर रासायनिक लेजरों में सबसे आशाजनक लेजर हैं।
सूक्ष्मइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड एक उत्कृष्ट प्लाज्मा एचिंग गैस है। सिलिकॉन और सिलिकॉन नाइट्राइड की एचिंग के लिए, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड की एचिंग दर और चयनात्मकता कार्बन टेट्राफ्लोराइड और कार्बन टेट्राफ्लोराइड तथा ऑक्सीजन के मिश्रण से कहीं अधिक है, और सतह पर कोई प्रदूषण नहीं छोड़ती। विशेष रूप से 1.5um से कम मोटाई वाले एकीकृत परिपथ पदार्थों की एचिंग में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड की एचिंग दर और चयनात्मकता बहुत ही उत्कृष्ट है, एच किए गए पदार्थ की सतह पर कोई अवशेष नहीं छोड़ती, और यह एक बहुत ही अच्छा सफाई एजेंट भी है। नैनो तकनीक के विकास और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के व्यापक विकास के साथ, इसकी मांग दिन-प्रतिदिन बढ़ती जा रही है।
फ्लोरीन युक्त विशेष गैस के एक प्रकार के रूप में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) बाजार में सबसे बड़ा इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उत्पाद है। यह कमरे के तापमान पर रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, ऑक्सीजन से अधिक सक्रिय है, फ्लोरीन से अधिक स्थिर है और उच्च तापमान पर आसानी से संभाला जा सकता है।
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का मुख्य रूप से प्लाज्मा एचिंग गैस और रिएक्शन चैंबर क्लीनिंग एजेंट के रूप में उपयोग किया जाता है, जो सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फाइबर, फोटोवोल्टाइक सेल आदि जैसे विनिर्माण क्षेत्रों के लिए उपयुक्त है।
अन्य फ्लोरीन युक्त इलेक्ट्रॉनिक गैसों की तुलना में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में तीव्र प्रतिक्रिया और उच्च दक्षता के फायदे हैं, विशेष रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जैसे सिलिकॉन युक्त पदार्थों की नक्काशी में, इसकी नक्काशी दर और चयनात्मकता उच्च होती है, नक्काशी की गई वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं छोड़ती है, और यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है, और यह सतह के लिए गैर-प्रदूषणकारी है और प्रसंस्करण प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
पोस्ट करने का समय: 26 दिसंबर 2024
