2018 में, एकीकृत सर्किट के लिए वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक गैस बाजार 4.512 बिलियन अमेरिकी डॉलर तक पहुँच गया, जो साल-दर-साल 16% की वृद्धि है। अर्धचालकों के लिए इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उद्योग की उच्च विकास दर और विशाल बाजार आकार ने इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस की घरेलू प्रतिस्थापन योजना को गति दी है!
इलेक्ट्रॉन गैस क्या है?
इलेक्ट्रॉनिक गैस अर्धचालकों, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, प्रकाश उत्सर्जक डायोड, सौर सेल और अन्य इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों के उत्पादन में प्रयुक्त होने वाली मूल स्रोत सामग्री है, और इसका व्यापक रूप से सफाई, नक्काशी, फिल्म निर्माण, डोपिंग और अन्य प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है। इलेक्ट्रॉनिक गैस के मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रों में इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग, सौर सेल, मोबाइल संचार, कार नेविगेशन और कार ऑडियो और वीडियो सिस्टम, एयरोस्पेस, सैन्य उद्योग और कई अन्य क्षेत्र शामिल हैं।
इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस को उसकी रासायनिक संरचना के अनुसार सात श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है: सिलिकॉन, आर्सेनिक, फॉस्फोरस, बोरॉन, मेटल हाइड्राइड, हैलाइड और मेटल एल्कोक्साइड। एकीकृत परिपथों में विभिन्न अनुप्रयोग विधियों के अनुसार, इसे डोपिंग गैस, एपिटैक्सी गैस, आयन इम्प्लांटेशन गैस, प्रकाश उत्सर्जक डायोड गैस, एचिंग गैस, रासायनिक वाष्प निक्षेपण गैस और बैलेंस गैस में विभाजित किया जा सकता है। अर्धचालक उद्योग में 110 से अधिक इकाई विशेष गैसों का उपयोग किया जाता है, जिनमें से 30 से अधिक सामान्यतः उपयोग की जाती हैं।
सामान्यतः, अर्धचालक उत्पादन उद्योग गैसों को दो प्रकारों में विभाजित करता है: सामान्य गैसें और विशेष गैसें। इनमें से, सामान्यतः प्रयुक्त गैस एक केंद्रीकृत आपूर्ति को संदर्भित करती है और बहुत अधिक गैस का उपयोग करती है, जैसे N2, H2, O2, Ar, He, आदि। विशेष गैस अर्धचालक उत्पादन की प्रक्रिया में प्रयुक्त कुछ रासायनिक गैसों को संदर्भित करती है, जैसे विस्तार, आयन इंजेक्शन, सम्मिश्रण, धुलाई और मास्क निर्माण, जिन्हें अब हम इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस कहते हैं, जैसे उच्च शुद्धता वाली SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, आदि।
सेमीकंडक्टर उद्योग की पूरी उत्पादन प्रक्रिया में, चिप विकास से लेकर अंतिम डिवाइस पैकेजिंग तक, लगभग हर लिंक इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस से अविभाज्य है, और उपयोग की जाने वाली गैस की विविधता और उच्च गुणवत्ता की आवश्यकताएं हैं, इसलिए इलेक्ट्रॉनिक गैस अर्धचालक सामग्री है। "भोजन"।
हाल के वर्षों में, चीन के प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकों, जैसे सेमीकंडक्टर और डिस्प्ले पैनल, की नई उत्पादन क्षमता में वृद्धि हुई है, और इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रियों के आयात प्रतिस्थापन की माँग भी ज़ोरदार रही है। सेमीकंडक्टर उद्योग में इलेक्ट्रॉनिक गैसों की स्थिति तेज़ी से प्रमुख होती जा रही है। घरेलू इलेक्ट्रॉनिक गैस उद्योग तेज़ी से विकास की ओर अग्रसर होगा।
इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस की शुद्धता की आवश्यकताएं बहुत अधिक होती हैं, क्योंकि यदि शुद्धता आवश्यकताओं के अनुरूप नहीं है, तो इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस में मौजूद जलवाष्प और ऑक्सीजन जैसे अशुद्धता समूह आसानी से अर्धचालक की सतह पर ऑक्साइड फिल्म बना देंगे, जो इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के सेवा जीवन को प्रभावित करता है, और इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस में मौजूद अशुद्धियों के कण अर्धचालक में शॉर्ट सर्किट और सर्किट क्षति का कारण बन सकते हैं। यह कहा जा सकता है कि शुद्धता में सुधार इलेक्ट्रॉनिक उपकरण उत्पादन की उपज और प्रदर्शन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।
सेमीकंडक्टर उद्योग के निरंतर विकास के साथ, चिप निर्माण प्रक्रिया में भी सुधार जारी है, और अब यह 5 नैनोमीटर तक पहुँच गया है, जो मूर के नियम की सीमा के करीब है, जो मानव बाल के व्यास के बीसवें हिस्से (लगभग 0.1 मिमी) के बराबर है। इसलिए, यह सेमीकंडक्टरों द्वारा उत्पादित इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस की शुद्धता पर उच्च आवश्यकताओं को भी सामने रखता है।
पोस्ट करने का समय: 15-दिसंबर-2021