हाइड्रोजन क्लोराइडएक तीखी गंध के साथ एक रंगहीन गैस है। इसके जलीय घोल को हाइड्रोक्लोरिक एसिड कहा जाता है, जिसे हाइड्रोक्लोरिक एसिड के रूप में भी जाना जाता है। हाइड्रोजन क्लोराइड पानी में बहुत घुलनशील है। 0 डिग्री सेल्सियस पर, पानी की 1 मात्रा हाइड्रोजन क्लोराइड के लगभग 500 संस्करणों को भंग कर सकती है।

इसमें निम्नलिखित गुण और विशेषताएं हैं:

1। उच्च शुद्धता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड की शुद्धताहाइड्रोजन क्लोराइडबहुत अधिक है, आमतौर पर पीपीएम या निचले स्तर पर, यह सुनिश्चित करने के लिए कि अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में कोई अशुद्धियां पेश नहीं की जाती हैं।

2। जड़ता

यह एक रासायनिक रूप से अक्रिय गैस है जो कई अन्य पदार्थों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करती है, जो अर्धचालक सामग्री और उपकरणों के संदूषण को रोकने के लिए बहुत महत्वपूर्ण है।

3। उच्च स्थिरता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडआम तौर पर विश्वसनीय सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण सुनिश्चित करने के लिए स्थिर रसायन विज्ञान है।

अर्धचालक प्रसंस्करण में, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइड के मुख्य अनुप्रयोगों में शामिल हैं:

1। सतह की सफाई और तैयारी

एक कुशल सतह क्लीनर, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड के रूप मेंहाइड्रोजन क्लोराइडएपिटैक्सियल परत या फिल्म की गुणवत्ता और शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए सब्सट्रेट सतह से ऑक्साइड और अशुद्धियों को हटाने के लिए उपयोग किया जाता है।

2.epitaxial विकास सहायता

एपिटैक्सियल प्रक्रिया में एक सतह उपचार एजेंट के रूप में उपयोग किया जाता है, यह एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में सुधार करने, जाली मिलान में सुधार करने और जाली दोषों के गठन को कम करने में मदद करता है।

3। सब्सट्रेट प्रीट्रीटमेंट

अर्धचालक उपकरणों की तैयारी से पहले, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडएपिटैक्सियल परत और सब्सट्रेट के बीच आसंजन में सुधार करने के लिए एक स्थिर आधार बनाने के लिए सब्सट्रेट सतह का इलाज करने के लिए उपयोग किया जा सकता है।

4। बयान सहायक एजेंट

रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) या भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) की प्रक्रिया में, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइड का उपयोग सेमीकंडक्टर सामग्री के बयान प्रतिक्रिया में भाग लेने के लिए गैस चरण हस्तांतरण माध्यम के रूप में उपयोग किया जा सकता है।

5। गैस-चरण हस्तांतरण एजेंट

गैस-चरण ट्रांसफर एजेंट के रूप में, अन्य गैसीय अग्रदूतों को सामग्री की जमाव दर और एकरूपता को समायोजित करने में मदद करने के लिए प्रतिक्रिया कक्ष में पेश किया जाता है।

ये विशेषताएं इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड बनाती हैंहाइड्रोजन क्लोराइडअर्धचालक प्रौद्योगिकी में एक महत्वपूर्ण प्रसंस्करण एजेंट, जिसका अंतिम डिवाइस के प्रदर्शन और विश्वसनीयता पर महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है।

अर्धचालक प्रसंस्करण में इसके उपयोग के अलावा, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइड अन्य क्षेत्रों में विभिन्न प्रकार के उपयोगों को पा सकता है, जिनमें शामिल हैं: उच्च शुद्धता सामग्री, ईंधन कोशिकाओं, अर्धचालक सामग्री वृद्धि, वाष्प चरण लिथोग्राफी, सामग्री विश्लेषण, रासायनिक अनुसंधान की तैयारी।

सामान्य तौर पर, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडएक बहुमुखी, उच्च शुद्धता गैस है जिसमें अर्धचालक विनिर्माण के बाहर अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला है।