हाइड्रोजन क्लोराइडहाइड्रोजन क्लोराइड एक रंगहीन गैस है जिसकी गंध तीखी होती है। इसके जलीय विलयन को हाइड्रोक्लोरिक अम्ल कहा जाता है। हाइड्रोजन क्लोराइड पानी में बहुत आसानी से घुल जाता है। 0°C पर, पानी के 1 आयतन में लगभग 500 आयतन हाइड्रोजन क्लोराइड घुल सकता है।

इसमें निम्नलिखित गुण और विशेषताएं हैं:

1. उच्च शुद्धता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड की शुद्धताहाइड्रोजन क्लोराइडयह स्तर बहुत उच्च होता है, आमतौर पर पीपीएम या उससे कम होता है, ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में कोई अशुद्धियाँ न आ जाएँ।

2. जड़ता

यह एक रासायनिक रूप से निष्क्रिय गैस है जो कई अन्य पदार्थों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करती है, जो अर्धचालक सामग्री और उपकरणों के संदूषण को रोकने के लिए बहुत महत्वपूर्ण है।

3. उच्च स्थिरता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडआमतौर पर इसमें स्थिर रसायन होता है जो विश्वसनीय अर्धचालक प्रसंस्करण सुनिश्चित करता है।

सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइड के मुख्य अनुप्रयोगों में निम्नलिखित शामिल हैं:

1. सतह की सफाई और तैयारी

एक कुशल सतह क्लीनर के रूप में, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडइसका उपयोग सब्सट्रेट की सतह से ऑक्साइड और अशुद्धियों को हटाने के लिए किया जाता है ताकि एपिटैक्सियल परत या फिल्म की गुणवत्ता और शुद्धता सुनिश्चित हो सके।

2. एपिटैक्सियल वृद्धि सहायता

एपिटैक्सियल प्रक्रिया में सतह उपचार एजेंट के रूप में उपयोग किए जाने पर, यह एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में सुधार करने, जाली मिलान को बेहतर बनाने और जाली दोषों के गठन को कम करने में मदद करता है।

3. सब्सट्रेट पूर्व-उपचार

सेमीकंडक्टर उपकरणों की तैयारी से पहले, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडइसका उपयोग सबस्ट्रेट की सतह को उपचारित करने के लिए किया जा सकता है ताकि एक स्थिर आधार बनाया जा सके और एपिटैक्सियल परत और सबस्ट्रेट के बीच आसंजन को बेहतर बनाया जा सके।

4. निक्षेपण सहायक एजेंट

रासायनिक वाष्प निक्षेपण (सीवीडी) या भौतिक वाष्प निक्षेपण (पीवीडी) की प्रक्रिया में, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइड का उपयोग अर्धचालक पदार्थों की निक्षेपण प्रतिक्रिया में भाग लेने के लिए गैस चरण स्थानांतरण माध्यम के रूप में किया जा सकता है।

5. गैस-चरण स्थानांतरण एजेंट

गैस-चरण स्थानांतरण एजेंट के रूप में, अन्य गैसीय अग्रदूतों को प्रतिक्रिया कक्ष में डाला जाता है ताकि सामग्री की जमाव दर और एकरूपता को समायोजित करने में मदद मिल सके।

ये विशेषताएं इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड को बनाती हैंहाइड्रोजन क्लोराइडसेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी में एक महत्वपूर्ण प्रसंस्करण कारक, जिसका अंतिम उपकरण के प्रदर्शन और विश्वसनीयता पर महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है।

सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग में इसके उपयोग के अलावा, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइड का उपयोग अन्य क्षेत्रों में भी कई तरह से किया जा सकता है, जिनमें शामिल हैं: उच्च शुद्धता वाली सामग्रियों की तैयारी, ईंधन सेल, सेमीकंडक्टर सामग्री का विकास, वाष्प चरण लिथोग्राफी, सामग्री विश्लेषण, रासायनिक अनुसंधान।

सामान्य तौर पर, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडयह एक बहुमुखी, उच्च शुद्धता वाली गैस है जिसके अर्धचालक निर्माण के अलावा भी कई तरह के अनुप्रयोग हैं।