लेजर गैस

लेज़र गैस का उपयोग मुख्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में लेज़र एनीलिंग और लिथोग्राफी गैस के लिए किया जाता है। मोबाइल फोन स्क्रीन के नवाचार और अनुप्रयोग क्षेत्रों के विस्तार से लाभान्वित होकर, निम्न-तापमान पॉलीसिलिकॉन बाजार का आकार और भी बढ़ेगा, और लेज़र एनीलिंग प्रक्रिया ने टीएफटी के प्रदर्शन में उल्लेखनीय सुधार किया है। अर्धचालकों के निर्माण के लिए ArF एक्सिमर लेज़र में उपयोग की जाने वाली नियॉन, फ्लोरीन और आर्गन गैसों में से, लेज़र गैस मिश्रण में नियॉन की मात्रा 96% से अधिक है। अर्धचालक प्रौद्योगिकी के परिष्करण के साथ, एक्सिमर लेज़रों का उपयोग बढ़ा है, और डबल एक्सपोज़र तकनीक की शुरुआत से ArF एक्सिमर लेज़रों द्वारा उपयोग की जाने वाली नियॉन गैस की मांग में तीव्र वृद्धि हुई है। इलेक्ट्रॉनिक विशिष्ट गैसों के स्थानीयकरण को बढ़ावा देने से लाभान्वित होकर, घरेलू निर्माताओं को भविष्य में बेहतर बाजार विकास की संभावनाएं मिलेंगी।

लिथोग्राफी मशीन अर्धचालक निर्माण का मुख्य उपकरण है। लिथोग्राफी ट्रांजिस्टर के आकार को निर्धारित करती है। लिथोग्राफी उद्योग श्रृंखला का समन्वित विकास लिथोग्राफी मशीन की प्रगति की कुंजी है। फोटोरेसिस्ट, फोटोलिथोग्राफी गैस, फोटोमास्क और कोटिंग एवं डेवलपिंग उपकरण जैसे उपयुक्त अर्धचालक पदार्थों में उच्च तकनीकी क्षमता होती है। लिथोग्राफी गैस वह गैस है जिससे लिथोग्राफी मशीन डीप अल्ट्रावायलेट लेजर उत्पन्न करती है। विभिन्न लिथोग्राफी गैसें अलग-अलग तरंग दैर्ध्य के प्रकाश स्रोत उत्पन्न कर सकती हैं, और उनकी तरंग दैर्ध्य सीधे लिथोग्राफी मशीन के रिज़ॉल्यूशन को प्रभावित करती है, जो लिथोग्राफी मशीन के मुख्य घटकों में से एक है। 2020 में, लिथोग्राफी मशीनों की कुल वैश्विक बिक्री 413 यूनिट रही, जिसमें से ASML की 258 यूनिट (62%), Canon की 122 यूनिट (30%) और Nikon की 33 यूनिट (8%) की बिक्री हुई।