बोरॉन ट्राइक्लोराइड (BCl3)अर्धचालक निर्माण में शुष्क नक़्क़ाशी और रासायनिक वाष्प निक्षेपण (सीवीडी) प्रक्रियाओं में आमतौर पर इस्तेमाल होने वाला एक अकार्बनिक यौगिक है। यह एक रंगहीन गैस है जिसकी कमरे के तापमान पर तीखी गंध होती है और यह आर्द्र हवा के प्रति संवेदनशील होती है क्योंकि यह हाइड्रोक्लोरिक अम्ल और बोरिक अम्ल बनाने के लिए जल-अपघटित होती है।

बोरॉन ट्राइक्लोराइड के अनुप्रयोग

अर्धचालक उद्योग में,बोरॉन ट्राइक्लोराइडइसका उपयोग मुख्य रूप से एल्युमीनियम की शुष्क नक़्क़ाशी और सिलिकॉन वेफ़र्स पर P-प्रकार के क्षेत्र बनाने के लिए एक अपमिश्रक के रूप में किया जाता है। इसका उपयोग GaAs, Si, AlN जैसी सामग्रियों की नक़्क़ाशी के लिए और कुछ विशिष्ट अनुप्रयोगों में बोरॉन स्रोत के रूप में भी किया जा सकता है। इसके अलावा, बोरॉन ट्राइक्लोराइड का व्यापक रूप से धातु प्रसंस्करण, कांच उद्योग, रासायनिक विश्लेषण और प्रयोगशाला अनुसंधान में उपयोग किया जाता है।

बोरॉन ट्राइक्लोराइड की सुरक्षा

बोरॉन ट्राइक्लोराइडयह संक्षारक और विषैला होता है और आँखों और त्वचा को गंभीर नुकसान पहुँचा सकता है। नम हवा में यह हाइड्रोलाइज़ होकर विषैली हाइड्रोजन क्लोराइड गैस छोड़ता है। इसलिए, इसे संभालते समय उचित सुरक्षा उपाय किए जाने चाहिए।बोरॉन ट्राइक्लोराइडजिसमें सुरक्षात्मक कपड़े, चश्मा और श्वसन सुरक्षा उपकरण पहनना और अच्छी तरह हवादार वातावरण में काम करना शामिल है।