बोरॉन ट्राइक्लोराइड (BCl3)यह एक अकार्बनिक यौगिक है जिसका उपयोग आमतौर पर अर्धचालक निर्माण में ड्राई एचिंग और केमिकल वेपर डिपोजिशन (सीवीडी) प्रक्रियाओं में किया जाता है। यह कमरे के तापमान पर एक रंगहीन गैस है जिसकी तीव्र गंध होती है और यह नम हवा के प्रति संवेदनशील होती है क्योंकि यह हाइड्रोक्लोरिक एसिड और बोरिक एसिड उत्पन्न करने के लिए जल अपघटित हो जाती है।

बोरॉन ट्राइक्लोराइड के अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर उद्योग में,बोरोन ट्राइक्लोराइडइसका मुख्य उपयोग एल्युमीनियम की ड्राई एचिंग और सिलिकॉन वेफर्स पर पी-टाइप क्षेत्र बनाने के लिए डोपेंट के रूप में किया जाता है। इसका उपयोग GaAs, Si, AlN जैसी सामग्रियों की एचिंग और कुछ विशिष्ट अनुप्रयोगों में बोरॉन स्रोत के रूप में भी किया जा सकता है। इसके अतिरिक्त, बोरॉन ट्राइक्लोराइड का व्यापक रूप से धातु प्रसंस्करण, कांच उद्योग, रासायनिक विश्लेषण और प्रयोगशाला अनुसंधान में उपयोग किया जाता है।

बोरोन ट्राइक्लोराइड की सुरक्षा

बोरोन ट्राइक्लोराइडयह संक्षारक और विषैला है और आँखों और त्वचा को गंभीर नुकसान पहुँचा सकता है। नम हवा में यह अपघटित होकर विषैली हाइड्रोजन क्लोराइड गैस छोड़ता है। इसलिए, इसे संभालते समय उचित सुरक्षा उपाय किए जाने चाहिए।बोरोन ट्राइक्लोराइडजिसमें सुरक्षात्मक कपड़े, चश्मे और श्वसन सुरक्षा उपकरण पहनना और अच्छी तरह हवादार वातावरण में काम करना शामिल है।